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製品一覧 |
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気体の粉体除去装置「トラパック」は、エレメントタイプ、うずタイプ、コンビネーションタイプをラインアップしています。
また、「トラパック」を最適に収納する「トラパックキャビネット」も取り揃えておりますので、お客様のニーズに合わせて、お選びいただけます。 |
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![](../img/arrow_right_blue.png) |
エレメントタイプ |
反応生成物(粉体)をエレメント表面から深層部まで隈無く捕捉。自重の10倍以上の粉体を捕集する「トラパックエレメント」を採用しています。 |
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![](../img/arrow_right_blue.png) |
うずタイプ |
うず構造物(うず加工板)の中に装着されております。排ガス中の反応生成物は中央に向かう、うず旋回流の中で衝突をくりかえし吸着捕集する「うずエレメント」を採用しています。 |
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![](../img/arrow_right_blue.png) |
コンビネーションタイプ |
「トラパックエレメント」と「うずエレメント」を重層的に採用することで、2種類のエレメントのメリットを実現します。 |
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トラパック / TRAPPACK (エレメントタイプ) |
真空仕様、排気仕様に対応した、気体の粉体除去装置のベーシックモデル。 |
![](../img/line_top.jpg)
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![](../img/arrow_right_blue.png) |
外観と構造 |
![](../../images/space.gif) |
![](../img/arrow_right_blue.png) |
特徴 |
![](../../images/space.gif) |
![トラパック(エレメントタイプ):外観と構造](img/products/system_01.jpg) |
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![高性能](img/red_back_01.jpg)
微細反応生成物(微粉体)を除去 |
![低損圧](img/red_back_02.jpg)
エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい |
![大量捕集](img/red_back_03.jpg)
粉体はエレメント表面と内部に積層していく |
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![](../../images/space.gif) |
![](../img/arrow_right_blue.png) |
主要用途 |
![](../../images/space.gif) |
![](../img/arrow_right_blue.png) |
仕様 |
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![](../img/blue_back_no1.png) |
インプラ |
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・一次エレメント / トラパックエレメント |
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![](../img/blue_back_no2.png) |
エッチング |
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・二次エレメント / 無 |
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・取付位置 / 真空、排気 |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-KN100
(エレメントタイプ) |
![トラパック:trapppack:tu-kn100](img/products/tu_kn100.jpg) |
主要用途 : 汎用
エレメント形式 : DL
接続口径 : NW25
サイズ : D90mm×H195mm
重量 : 1.9kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-KN200
(エレメントタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-kn200](img/products/tu_kn200.jpg) |
主要用途 : 汎用
エレメント形式 : EL
接続口径 : NW40
サイズ : D140mm×H210mm
重量 : 4.6kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-KN500
(エレメントタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-n500](img/products/tu_kn500.jpg) |
主要用途 : 汎用
エレメント形式 : GL
接続口径 : NW40
サイズ : D210mm×H260mm
重量 : 10kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-KN500W
(エレメントタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-n500w](img/products/tu_kn500w.jpg) |
主要用途 : 汎用
エレメント形式 : HL
接続口径 : NW40
サイズ : D210mm×H390mm
重量 : 13kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-200
(エレメントタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-200](img/products/tu200.jpg) |
主要用途 : インプラ
エレメント形式 : EL
接続口径 : NW25
サイズ : D210mm×H210mm
重量 : 5.3kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-250
(エレメントタイプ) |
![](img/products/tu_250.jpg) |
主要用途 : インプラ
エレメント形式 : FL
接続口径 : NW40
サイズ : D210mm×H295mm
重量 : 6.5kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-500
(エレメントタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-500](img/products/tu_500.jpg) |
主要用途 : インプラ・エッチング
エレメント形式 : GL
接続口径 : NW40
サイズ : D300mm×H267mm
重量 : 10.0kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-500W
(エレメントタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-500w](img/products/tu_500w.jpg) |
主要用途 : インプラ・エッチング
エレメント形式 : HL
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : D300mm×H415mm
重量 : 13kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-1000
(エレメントタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-1000](img/products/tu_1000.jpg) |
主要用途 : インプラ・エッチング
エレメント形式 : GL
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : D300mm×H555mm
重量 : 16.5kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
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![](../../images/space.gif) |
トラパック / TRAPPACK (うずタイプ) |
トラパックをさらに進化させ、エレメントにうずタイプを装備した気体の粉体除去装置。 |
![](../img/line_top.jpg) |
![](../img/arrow_right_blue_narrow.png) |
外観と構造 |
![](../../images/space.gif) |
![](../img/arrow_right_blue_narrow.png) |
特徴 |
![](../../images/space.gif) |
![トラパック(うずタイプ):外観と構造](img/products/system_02.jpg) |
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![高性能](img/red_back_04.jpg)
うず構造体のため、粉体は長期間圧力損失を受けない |
![低損圧](img/red_back_01.jpg)
うず数やうずピッチの組合せによりほぼ粉体をシャットアウトする |
![大量捕集](img/red_back_05.jpg)
粉体は装着されているうずエレメント表面に積層していく |
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![](../../images/space.gif) |
・主要用途 / CVD、エッチング ・一次エレメント / うずエレメント
・二次エレメント / 無 ・取付位置 / 真空、排気 |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-50LM /LMJ
(うずタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-50lm/lmj](img/products/tu_50lm.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : ASD-50 うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □370mm×H707mm
重量 : 53kg / 68kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-65LM /LMJ
(うずタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-50lm/lmj](img/products/tu_65lm.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : ASD-65 うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □400mm×H1013mm
重量 : 94kg / 99kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-85LM /LMJ
(うずタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-85lm/lmj](img/products/tu_85lmj.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : ASD-85 うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □430mm×H1064mm
重量 : 100kg / 115kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-95LM /LMJ
(うずタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-95lm/lmj](img/products/tu_95lmj.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : ASD-95 うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □485mm×H1064mm
重量 : 145kg / 160kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-105LM /LMJ
(うずタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-95lm/lmj](img/products/tu_105lmj.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : ASD-105 うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □535mm×H1264mm
重量 : 180s / 240s |
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![](../img/line_center.jpg) |
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![](../../images/space.gif) |
トラパック / TRAPPACK (コンビネーションタイプ) |
トラパックをさらに進化させ、エレメントにコンビネーションタイプ(うずタイプ+エレメントタイプ)を装備した気体の粉体除去装置。 |
![](../img/line_top.jpg) |
![](../img/arrow_right_blue_narrow.png) |
外観と構造 |
![](../../images/space.gif) |
![](../img/arrow_right_blue_narrow.png) |
特徴 |
![](../../images/space.gif) |
![](img/products/system_03.jpg) |
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![高性能](img/red_back_01.jpg)
微細反応生成物(微粉体)を除去 |
![低損圧](img/red_back_02.jpg)
エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい |
![大量捕集](img/red_back_03.jpg)
粉体は、うず部とエレメント部に積層していく |
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![](../../images/space.gif) |
・主要用途 / CVD、エッチング ・一次エレメント / うずエレメント
・二次エレメント / トラパックエレメント ・取付位置 / 排気 |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-1500 / J
(コンビネーションタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-1500](img/products/tu_1500.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : HL + うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □370mm×H707mm
重量 : 49kg / 65kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-3100 / J
(コンビネーションタイプ) |
![トラパック:trappack:tu-3100](img/products/tu_3100.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : IL + うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □400mm×H1013mm
重量 : 93kg / 98kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-4100 / J
(コンビネーションタイプ) |
![トラップパック:trappack:tu-4100](img/products/tu_4100.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : KL + うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □430mm×H1064mm
重量 : 104kg / 147kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-5100 / J
(コンビネーションタイプ) |
![](img/products/tu_5100j.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : KL + うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □485mm×H1064mm
重量 : 110kg / 127kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
TU-6100 / J
(コンビネーションタイプ) |
![](img/products/tu_6100j.jpg) |
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : KL + うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □535mm×H1264mm
重量 : 160kg / 220kg |
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![](../img/line_center.jpg) |
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![](../../images/space.gif) |