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>> 製品の概要 >> 製品の特徴 >> 製品一覧 >> 取付実績 TOP >> 製品情報 ［製品の概要］ >> 気体の粉体除去装置 ［製品一覧］ 　製品一覧 気体の粉体除去装置「トラパック」は、エレメントタイプ、うずタイプ、コンビネーションタイプをラインアップしています。 また、「トラパック」を最適に収納する「トラパックキャビネット」も取り揃えておりますので、お客様のニーズに合わせて、お選びいただけます。 エレメントタイプ 反応生成物（粉体）をエレメント表面から深層部まで隈無く捕捉。自重の10倍以上の粉体を捕集する「トラパックエレメント」を採用しています。 うずタイプ うず構造物（うず加工板）の中に装着されております。排ガス中の反応生成物は中央に向かう、うず旋回流の中で衝突をくりかえし吸着捕集する「うずエレメント」を採用しています。 コンビネーションタイプ 「トラパックエレメント」と「うずエレメント」を重層的に採用することで、２種類のエレメントのメリットを実現します。 エレメントの詳細 トラパック / TRAPPACK （エレメントタイプ） 真空仕様、排気仕様に対応した、気体の粉体除去装置のベーシックモデル。 外観と構造 特徴   微細反応生成物（微粉体）を除去 エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい 粉体はエレメント表面と内部に積層していく 主要用途 仕様   インプラ     ・一次エレメント / トラパックエレメント   エッチング     ・二次エレメント / 無           ・取付位置 / 真空、排気 TU-KN100 （エレメントタイプ） 主要用途 ： 汎用 エレメント形式 ： DL 接続口径 ： NW25 サイズ ： D90mm×H195mm 重量 ： 1.9kg TU-KN200 （エレメントタイプ） 主要用途 ： 汎用 エレメント形式 ： EL 接続口径 ： NW40 サイズ ： D140mm×H210mm 重量 ： 4.6kg TU-KN500 （エレメントタイプ） 主要用途 ： 汎用 エレメント形式 ： GL 接続口径 ： NW40 サイズ ： D210mm×H260mm 重量 ： 10kg TU-KN500W （エレメントタイプ） 主要用途 ： 汎用 エレメント形式 ： HL 接続口径 ： NW40 サイズ ： D210mm×H390mm 重量 ： 13kg TU-200 （エレメントタイプ） 主要用途 ： インプラ エレメント形式 ： EL 接続口径 ： NW25 サイズ ： D210mm×H210mm 重量 ： 5.3kg TU-250 （エレメントタイプ） 主要用途 ： インプラ エレメント形式 ： FL 接続口径 ： NW40 サイズ ： D210mm×H295mm 重量 ： 6.5kg TU-500 （エレメントタイプ） 主要用途 ： インプラ・エッチング エレメント形式 ： GL 接続口径 ： NW40 サイズ ： D300mm×H267mm 重量 ： 10.0kg TU-500W （エレメントタイプ） 主要用途 ： インプラ・エッチング エレメント形式 ： HL 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： D300mm×H415mm 重量 ： 13kg TU-1000 （エレメントタイプ） 主要用途 ： インプラ・エッチング エレメント形式 ： GL 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： D300mm×H555mm 重量 ： 16.5kg PAGE TOP トラパック / TRAPPACK （うずタイプ） トラパックをさらに進化させ、エレメントにうずタイプを装備した気体の粉体除去装置。 外観と構造 特徴   うず構造体のため、粉体は長期間圧力損失を受けない うず数やうずピッチの組合せによりほぼ粉体をシャットアウトする 粉体は装着されているうずエレメント表面に積層していく ・主要用途 / CVD、エッチング　　　・一次エレメント / うずエレメント ・二次エレメント / 無　　　・取付位置 / 真空、排気 TU-50LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-50 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □370mm×H707mm 重量 ： 53kg / 68kg TU-65LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-65 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □400mm×H1013mm 重量 ： 94kg / 99kg TU-85LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-85 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □430mm×H1064mm 重量 ： 100kg / 115kg TU-95LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-95 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □485mm×H1064mm 重量 ： 145kg / 160kg TU-105LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-105 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □535mm×H1264mm 重量 ： 180�s / 240�s PAGE TOP トラパック / TRAPPACK （コンビネーションタイプ） トラパックをさらに進化させ、エレメントにコンビネーションタイプ（うずタイプ＋エレメントタイプ）を装備した気体の粉体除去装置。 外観と構造 特徴   微細反応生成物（微粉体）を除去 エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい 粉体は、うず部とエレメント部に積層していく ・主要用途 / CVD、エッチング　　　・一次エレメント / うずエレメント ・二次エレメント / トラパックエレメント　　　・取付位置 / 排気 TU-1500 / J （コンビネーションタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： HL ＋ うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □370mm×H707mm 重量 ： 49kg / 65kg TU-3100 / J （コンビネーションタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： IL ＋ うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □400mm×H1013mm 重量 ： 93kg / 98kg TU-4100 / J （コンビネーションタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： KL ＋ うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □430mm×H1064mm 重量 ： 104kg / 147kg TU-5100 / J （コンビネーションタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： KL ＋ うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □485mm×H1064mm 重量 ： 110kg / 127kg TU-6100 / J （コンビネーションタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： KL ＋ うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □535mm×H1264mm 重量 ： 160kg / 220kg PAGE TOP