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製品の概要:大成技研株式会社
真空産業用製品:大成技研株式会社
トラパック(粉体除去):大成技研株式会社
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トラパック(気液分離):大成技研株式会社
油水分離機:大成技研株式会社
オイルクリーナー:大成技研株式会社
真空コンポーネント:大成技研株式会社
一般産業用製品:大成技研株式会社
オイルクリーナー(一般産業用):大成技研株式会社
油水分離機(一般産業用):大成技研株式会shあ
浮上油回収装置:大成技研株式会社
周辺機器:大成技研株式会社
フィルターエレメント/ハウジング:大成技研株式会社
FAQ:大成技研株式会社
大成技研株式会社:ISO9001 認証取得 2008
TOP >> 製品情報 [製品の概要] >> 気体の粉体除去装置 [製品一覧]
 製品一覧
気体の粉体除去装置「トラパック」は、エレメントタイプ、うずタイプ、コンビネーションタイプをラインアップしています。
また、「トラパック」を最適に収納する「トラパックキャビネット」も取り揃えておりますので、お客様のニーズに合わせて、お選びいただけます。
エレメントタイプ
反応生成物(粉体)をエレメント表面から深層部まで隈無く捕捉。自重の10倍以上の粉体を捕集する「トラパックエレメント」を採用しています。
うずタイプ
うず構造物(うず加工板)の中に装着されております。排ガス中の反応生成物は中央に向かう、うず旋回流の中で衝突をくりかえし吸着捕集する「うずエレメント」を採用しています。
コンビネーションタイプ
「トラパックエレメント」と「うずエレメント」を重層的に採用することで、2種類のエレメントのメリットを実現します。
エレメントの詳細
トラパック / TRAPPACK (エレメントタイプ)
真空仕様、排気仕様に対応した、気体の粉体除去装置のベーシックモデル。

外観と構造 特徴
トラパック(エレメントタイプ):外観と構造  
高性能
微細反応生成物(微粉体)を除去
低損圧
エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい
大量捕集
粉体はエレメント表面と内部に積層していく
主要用途 仕様
  インプラ     ・一次エレメント / トラパックエレメント
  エッチング     ・二次エレメント / 無
          ・取付位置 / 真空、排気
TU-KN100
(エレメントタイプ)
トラパック:trapppack:tu-kn100 主要用途 : 汎用
エレメント形式 : DLL
接続口径 : NW25
サイズ : D90mm×H195mm
重量 : 1.9kg
TU-KN200
(エレメントタイプ)
トラパック:trappack:tu-kn200 主要用途 : 汎用
エレメント形式 : ELL
接続口径 : NW40
サイズ : D140mm×H210mm
重量 : 4.6kg
TU-KN500
(エレメントタイプ)
トラパック:trappack:tu-n500 主要用途 : 汎用
エレメント形式 : GLL
接続口径 : NW40
サイズ : D210mm×H260mm
重量 : 4.9kg
TU-KN500W
(エレメントタイプ)
トラパック:trappack:tu-n500w 主要用途 : 汎用
エレメント形式 : HLL
接続口径 : NW40
サイズ : D210mm×H390mm
重量 : 6.8kg
TU-200
(エレメントタイプ)
トラパック:trappack:tu-200 主要用途 : インプラ
エレメント形式 : EL
接続口径 : NW25
サイズ : D210mm×H210mm
重量 : 5.3kg
TU-250
(エレメントタイプ)
主要用途 : インプラ
エレメント形式 : FL
接続口径 : NW40
サイズ : D210mm×H295mm
重量 : 6.5kg
TU-500
(エレメントタイプ)
トラパック:trappack:tu-500 主要用途 : インプラ・エッチング
エレメント形式 : GL
接続口径 : NW40
サイズ : D300mm×H267mm
重量 : 10.0kg
TU-500W
(エレメントタイプ)
トラパック:trappack:tu-500w 主要用途 : インプラ・エッチング
エレメント形式 : HL
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : D300mm×H415mm
重量 : 13kg
TU-1000
(エレメントタイプ)
トラパック:trappack:tu-1000 主要用途 : インプラ・エッチング
エレメント形式 : GL
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : D300mm×H555mm
重量 : 16.5kg
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ニュートラパック / NEW TRAPPACK (うずタイプ)
トラパックをさらに進化させ、エレメントにうずタイプを装備した気体の粉体除去装置。
外観と構造 特徴
トラパック(うずタイプ):外観と構造  
高性能
うず構造体のため、粉体は長期間圧力損失を受けない
低損圧
うず数やうずピッチの組合せによりほぼ粉体をシャットアウトする
大量捕集
粉体は装着されているうずエレメント表面に積層していく
・主要用途 / CVD、エッチング   ・一次エレメント / うずエレメント   ・二次エレメント / 無
・取付位置 / 真空、排気
TU-50LM /LMJ
(うずタイプ)
トラパック:trappack:tu-50lm/lmj 主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : ASD-50 うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □370mm×H707mm
重量 : 53kg / 68kg
TU-65LM /LMJ
(うずタイプ)
トラパック:trappack:tu-50lm/lmj 主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : ASD-65 うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □400mm×H1013mm
重量 : 94kg / 99kg
TU-85LM /LMJ
(うずタイプ)
トラパック:trappack:tu-85lm/lmj 主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : ASD-85 うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □430mm×H1064mm
重量 : 100kg / 115kg
TU-95LM /LMJ
(うずタイプ)
トラパック:trappack:tu-95lm/lmj 主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : ASD-95 うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □485mm×H1064mm
重量 : 145kg / 160kg
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ニュートラパック / NEW TRAPPACK (コンビネーションタイプ)
トラパックをさらに進化させ、エレメントにコンビネーションタイプ(うずタイプ+エレメントタイプ)を装備した気体の粉体除去装置。
外観と構造 特徴
 
高性能
微細反応生成物(微粉体)を除去
低損圧
エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい
大量捕集
粉体は、うず部とエレメント部に積層していく
・主要用途 / CVD、エッチング   ・一次エレメント / うずエレメント
・二次エレメント / トラパックエレメント   ・取付位置 / 排気
TU-1500 / J
(コンビネーションタイプ)
トラパック:trappack:tu-1500 主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : HL + うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □370mm×H707mm
重量 : 49kg / 65kg
TU-3100 / J
(コンビネーションタイプ)
トラパック:trappack:tu-3100 主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : IL + うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □400mm×H1013mm
重量 : 93kg / 98kg
TU-4100 / J
(コンビネーションタイプ)
トラップパック:trappack:tu-4100 主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : KL + うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □430mm×H1064mm
重量 : 104kg / 147kg
TU-5100 / J
(コンビネーションタイプ)
主要用途 : エッチング・CVD
エレメント形式 : KL + うず
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : □485mm×H1064mm
重量 : 110kg / 127kg
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トラパックキャビネット
圧力警報、漏電ブレーカー等の安全対策機能を装備したトラパック専用キャビネット。

KA-1500 主要用途 : 半導体プロセス
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : W650mm×L450mm×H1060mm
重量 : 56kg
KA-3100
主要用途 : 半導体プロセス
接続口径 : NW40、NW50
サイズ : W760mm×L480mm×H1450mm
重量 : 82kg
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