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>> 製品の概要 >> 製品の特徴 >> 製品一覧 >> 取付実績 TOP >> 製品情報 ［製品の概要］ >> 気体の粉体除去装置 ［取付実績］ 　取付け実績　１ 用途 LSI ドライエッチング装置 （BCL3） セラミック 真空ベーク炉 （セラミック粉の混入） LSI イオン注入装置 （リン・ヒ素化合物の混入） エレメント寿命 １年 １年 １年〜１．５年 真空ポンプ寿命 ３か月→５年以上 半年→５年以上 ４か月→４年以上 コスト削減メリット １/10 １/５〜１/10 １/10 　取付け実績　２ 液晶プロセス 　取付け実績　３ 半導体プロセス