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 トラパックの概要
  エレメントタイプ うずタイプ コンビネーションタイプ
外観

構造
トラパック
エレメント
うずエレメント
設置の場所 真空系・排気系 真空系・排気系 排気系
圧力損失 微小 ゼロ 微小
 用途  対象プロセス
インプラ・エッチング
CVD・エッチング
CVD・エッチング
ガス BF3, AsH3, PH3
BCL3, CL2
SiH4, NH3, NF3
BCL3, CL2
SiH4, NH3, NF3
BCL3, CL2
 トラパックのエレメント
トラパックのエレメントは反応生成物(粉体)をエレメント繊維表面に吸着させる特殊な性質をもつ高機能性イオン交換繊維の特殊加工品です。成型体の“トラパックエレメント”と布状の“うずエレメント”があります。
トラパックエレメント うずエレメント
トラパックエレメント うずエレメント
トラパックエレメント
トラパックエレメントは形状と密度により種類が豊富です。うずエレメントもNEWトラパックの機種と仕様により規格が異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
エレメントタイプ 機種とエレメント形式 規格 エレメント仕様
機種 エレメント形式

トラパックエレメント TU-200 EL

高密度エレメント


中密度エレメント


低密度エレメント

標準仕様(排気取付)


真空仕様(真空取付)

TU-250 FL
TU-500 GL
TU-1000
TU-500W HL
TU-1500
TU-2100
TU-3100 IL
TU-4100 KL
TU-5100
TU-6100
うずエレメント TU-25LM ASD-25LM 3 うず規格

4 うず規格

5 うず規格

6 うず規格
TU-50LM ASD-50LM
TU-65LM ASD-65LM
TU-85LM ASD-85LM
TU-95LM ASD-95LM
TU-105LM ASD-105LM
TU-1500 ASD-1500
TU-2100 ASD-2100
TU-3100 ASD-3100
TU-4100 ASD-4100
TU-5100 ASD-5100
TU-6100 ASD-6100
 吸着のメカニズムと実績
マグネットファイバー   マグネットファイバー機能
  プラスとマイナスのイオン交換繊維の表面に反応生成物(粉体)が吸着されます。やがて粉体は積層しながらマグネットファイバーを太らせます。

トラパックエレメント   トラパックエレメント使用後
  トラパックエレメントは反応生成物(粉体)をエレメント表面から深層部まで隈無く捕捉。自重の10倍以上の粉体を捕集します。

うずエレメント   うずエレメント使用後
  うずエレメントはうず構造物(うず加工板)の中に装着されております。排ガス中の反応生成物は中央に向かう、うず旋回流の中で衝突をくりかえし吸着捕集されます。
 特徴
トラパックエレメント
 
高性能 微細反応生成物(微粉体)を除去
低損圧 エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい
大量捕集 粉体はエレメント表面と内部に積層していく
うずエレメント
 
高性能 うず構造体のため、粉体は長期間圧力損失を受けない
低損圧 うず数やうずピッチの組合せによりほぼ粉体をシャットアウトする
大量捕集 粉体は装着されているうずエレメント表面に積層していく