トラパック、オイルクリーナーの設計・製作・販売:大成技研株式会社 お問合せサイトマップ
大成技研株式会社のホームページへ 大成技研株式会社:企業情報 製品情報:大成技研株式会社 大成技研株式会社の展示会情報 大成技研株式会社の資料請求 大成技研株式会社の採用情報 大成技研株式会社の英語ページへ

製品の概要:大成技研株式会社
真空産業用製品:大成技研株式会社
トラパック(粉体除去):大成技研株式会社
>> 製品の概要
>> 製品の特徴
>> 製品一覧
>> 取付実績
トラパック(気液分離):大成技研株式会社
油水分離機:大成技研株式会社
オイルクリーナー:大成技研株式会社
真空コンポーネント:大成技研株式会社
一般産業用製品:大成技研株式会社
オイルクリーナー(一般産業用):大成技研株式会社
油水分離機(一般産業用):大成技研株式会shあ
浮上油回収装置:大成技研株式会社
周辺機器:大成技研株式会社
フィルターエレメント/ハウジング:大成技研株式会社
FAQ:大成技研株式会社
大成技研株式会社:ISO9001 認証取得 2008
TOP >> 製品情報 [製品の概要] >> 気体の粉体除去装置 [製品の概要]

大成技研株式会社がお届けする“気体の粉体除去”とは、主に半導体・液晶製造装置(イオン注入・CVD・エッチング等)から排気されるガス反応生成物(微粉体)を除去する装置です。
特にイオン注入やCVD装置から排出される1μm以下の反応生成物をうず流旋回吸着と高機能マグネットエレメントにより完全にシャットアウトします。本装置はエレメントの圧力損失がほとんどなく、真空ポンプの前段と後段の両方に使え、既存のフィルターでは除去できない微粉体をたやすく処理する画期的な粉体トラップです。大幅なメンテナンスの工数削減と生産性の向上が約束されます。

 トラパックとは?
トラパックは半導体、液晶製造装置用の排ガス中の反応生成物(微粉体)を除去するパウダー除去トラップです。構造はうず流旋回吸着タイプ、マグネットエレメントタイプ(トラパックエレメント)と2つを組み合わせたコンビネーションタイプの3種類があります。特にコンビネーションタイプはエッチング装置やCVD装置から排出されるサブミクロンの微粉体を完全にシャットアウトします。
 システムの構成 (真空ポンプの前段への設置)
導入効果
排ガス配管のクリーン化 フォワーラインバルブの保守の削減
真空ポンプの故障防止   生産性の向上
フォワーラインのメンテナンスの削減      
構成
 システムの構成 (真空ポンプの後段への設置)
導入効果
排ガス配管のクリーン化 真空ポンプの故障防止
排ガス除去装置の負荷軽減   生産性の向上
エキゾーストラインのメンテナンスの削減      
構成